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光学滤光片表面光洁度判定

来源: 本站 作者: admin 发布时间: 2021-03-18 15:22:26 浏览次数: 496

一.定义:

表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。

道子、亮路都统称为划痕。

斑点、坑点、点子 都称为麻点。

规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。

当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。

划痕:

以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)

这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80#  5个级。 

SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解

1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。

例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格

2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。

例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。

     它的等效直径为20mm

     1/4D为1/4×20=5mm

     最大划痕的长度和为:

      3mm+3mm=6mm

     6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。

3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。

例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。

     它的等效直径为20mm

       1/4D为1/4×20=5mm

      最大划痕的长度和为:

        2mm+2mm=4mm

       4mm<5mm。符合2条。

但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:

1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4)

2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;

   40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20

3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:

   [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36

   元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。

依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。

气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。